玻璃基板和蒸鍍成膜亦可彎曲

 北京時間07月18日消息，中國觸摸屏網訊，“柔性基板上的成膜要用涂布工藝”，或者“玻璃基板不能使用卷對卷工藝”等定見，其實是不正確的。例如，將脂膜及金屬箔以卷對卷方式卷繞，并以真空蒸鍍成膜的技術10多年前就有了（圖A-1）。而且一直主要用于柔性印刷布線基板、觸摸面板及透明導電薄膜等的制造。“還曾有過在一口氣就能吹走的1.2μm厚薄膜上成膜的例子”（洛克技研工業代表董事巖永淳一）。在海外，德國弗勞恩霍夫研究所（Fraunhofer Institute）也在用與洛克技研工業相同但尺寸更大的裝置開發有機EL照明面板。

                                      圖A-1：采用蒸鍍技術的卷對卷（R2R）方式
    洛克技研工業等以前就開發出了采用蒸鍍技術但利用柔性薄膜基板以卷對卷方式成膜的裝置，并供貨了數十臺（a）。2012年大日本印刷等開發出了采用柔性玻璃的卷對卷技術（b）。 
　　最近，柔性基板的隊伍中又增加了“玻璃”這位新成員。大日本印刷在2012年6月的顯示器技術國際會議“SID 2012”上，發布了在柔性玻璃上以卷對卷方式形成彩色濾光片的技術。將玻璃的厚度減至50～70μm，便可在一定程度上彎曲。并在其上利用以往的光刻技術形成圖案。雖然目前彎曲時的機械強度似還存在課題，但將來肯定會成為樹脂膜的強勁競爭對手。
　　這類技術很難區別是傳統的半導體技術還是廣義的印刷電子。但開發新元件的選擇范圍得以大幅擴展這一點是毫無疑問的。