上海光機所大口徑釹玻璃加工取得重要進展

   中科院上海光學精密機械研究所恒益公司大口徑釹玻璃加工取得重要進展，精拋光面形透射波前畸變可穩定優于1/3λ（λ=632.8nm），技術指標達到國內大平面光學環拋加工最高水平，為國際同類產品加工先進水平，并具備小批量生產能力。

　　近年來，釹玻璃片精拋光過程中的面形控制工藝難度和表面疵病嚴重超標的現象一直制約著上海光機所恒益公司的加工產能。近幾個月來，上海光機所恒益公司集中組織專業技術人員，對釹玻璃光學加工中的相關工藝逐一進行分解和細化，圍繞確定性環形拋光技術和生產過程控制，以工藝改進和效率提升為目標，從技術路線和管理路線兩個方面進行攻關研究。

　　目前，生產效能和加工工藝水平都取得重要進展，集中表現為以下兩個方面：產能得到有效提升，7個月內，月產能從2片/月提升到現在的15片/月；產品技術指標提升，尤其是表面質量得到有效控制和改進，供貨合格率得到大幅提高。

　　大口徑釹玻璃是高功率激光裝置的核心元件，其最大工件尺寸接近一米，精密拋光的面形要求為透射波前畸變優于1/3λ，相當于0.21微米的平面度要求。在大尺寸釹玻璃上實現如此高的平面度，溫梯度發生1℃的變化都會造成其面形畸變，技術難度高。